Extending defect models for Si processing: The role of energy barriers for defect transformation, entropy and coalescence mechanism

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2022

Volumen: 512

Páginas: 54-59

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2021.12.002 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor

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