On the anomalous generation of {0 0 1} loops during laser annealing of ion-implanted silicon

  1. Marqués, L.A.
  2. Aboy, M.
  3. Santos, I.
  4. López, P.
  5. Cristiano, F.
  6. La Magna, A.
  7. Huet, K.
  8. Tabata, T.
  9. Pelaz, L.
Aldizkaria:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Argitalpen urtea: 2019

Alea: 458

Orrialdeak: 179-183

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.NIMB.2018.09.030 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor

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ESTUDIO DE PROCESOS TECNOLÓGICOS AVANZADOS PARA LA FABRICACIÓN DE DISPOSITIVOS ELECTRÓNICOS NANOMÉTRICOS MEDIANTE TÉCNICAS DE SIMULACIÓN PREDICTIVA

2018/00088/001

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