On the anomalous generation of {0 0 1} loops during laser annealing of ion-implanted silicon

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Ano de publicación: 2019

Volume: 458

Páxinas: 179-183

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2018.09.030 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor

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