Evaluation of free-carrier concentration in Si+-implanted InP by means of photoluminescence

  1. Ibáez, J.
  2. Cuscó, R.
  3. Artús, L.
  4. De La Puente, E.
  5. Jiménez, J.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2001

Volumen: 175-177

Páginas: 246-251

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/S0168-583X(01)00449-9 GOOGLE SCHOLAR
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