ESCUELA DE INGENIERIAS INDUSTRIALES
Centre
Ecole Centrale de Lyon
Écully, FranciaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Ecole Centrale de Lyon (1)
2006
-
InP surface properties under ICP plasma etching using mixtures of chlorides and hydrides
2006 INTERNATIONAL CONFERENCE ON INDIUM PHOSPHIDE AND RELATED MATERIALS CONFERENCE PROCEEDINGS