ESCUELA DE INGENIERIAS INDUSTRIALES
Zentrum
Ecole Centrale de Lyon
Écully, FranciaPublikationen in Zusammenarbeit mit Forschern von Ecole Centrale de Lyon (1)
2006
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InP surface properties under ICP plasma etching using mixtures of chlorides and hydrides
2006 INTERNATIONAL CONFERENCE ON INDIUM PHOSPHIDE AND RELATED MATERIALS CONFERENCE PROCEEDINGS