Ciencia de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica, Expresión Gráfica en la Ingeniería, Ingeniería Cartográfica, Geodesia y Fotogrametría, Ingeniería Mecánica Ingeniería de los Procesos de Fabricación
Fachbereich
Instituto de Microelectrónica de Barcelona
Barcelona, EspañaPublikationen in Zusammenarbeit mit Forschern von Instituto de Microelectrónica de Barcelona (3)
2013
-
2 MeV electron irradiation effects on the electrical characteristics of metal-oxide-silicon capacitors with atomic layer deposited Al2O 3, HfO2 and nanolaminated dielectrics
Solid-State Electronics, Vol. 79, pp. 65-74
2011
-
Electrical characteristics of metal-insulator-semiconductor structures with atomic layer deposited Al2 O3, HfO2, and nanolaminates on different silicon substrates
Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
-
Negative-resistance effect in Al2O3 based and nanolaminated MIS structures
Proceedings of the 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011