On the influence of substrate cleaning method and rapid thermal annealing conditions on the electrical characteristics of Al/SiNx/SiO 2/Si fabricated by ECR-CVD
- Dueñas, S.
- H.castán, null
- García, H.
- Barbolla, J.
- San Andrés, E.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0026-2714
Any de publicació: 2005
Volum: 45
Número: 5-6
Pàgines: 978-981
Tipus: Aportació congrés