On the influence of substrate cleaning method and rapid thermal annealing conditions on the electrical characteristics of Al/SiNx/SiO 2/Si fabricated by ECR-CVD
- Dueñas, S.
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- García, H.
- Barbolla, J.
- San Andrés, E.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0026-2714
Datum der Publikation: 2005
Ausgabe: 45
Nummer: 5-6
Seiten: 978-981
Art: Konferenz-Beitrag