Effect of the implantation temperature on lattice damage of Be +-implanted GaN

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Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Año de publicación: 2005

Volumen: 20

Número: 5

Páginas: 374-377

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0268-1242/20/5/009 GOOGLE SCHOLAR
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