C-V, DLTS and conductance transient characterization of SiNx: H/InP interface improved by N2 remote plasma cleaning of the InP surface
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Barbolla, J.
- Redondo, E.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0957-4522
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 12
Nummer: 4-6
Seiten: 263-267
Art: Artikel