Raman-scattering assessment of Si+-implantation damage in InP
- Cuscó, R.
- Talamàs, G.
- Artús, L.
- Martin, J.M.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 79
Nummer: 8
Seiten: 3927-3929
Art: Artikel
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 79
Nummer: 8
Seiten: 3927-3929
Art: Artikel