Raman-scattering assessment of Si+-implantation damage in InP
- Cuscó, R.
- Talamàs, G.
- Artús, L.
- Martin, J.M.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 1996
Volume: 79
Número: 8
Páxinas: 3927-3929
Tipo: Artigo
Revista:
Journal of Applied Physics