Raman-scattering assessment of Si+-implantation damage in InP
- Cuscó, R.
- Talamàs, G.
- Artús, L.
- Martin, J.M.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0021-8979
Année de publication: 1996
Volumen: 79
Número: 8
Pages: 3927-3929
Type: Article
Revue:
Journal of Applied Physics