Characterization of Si implantation and annealing of InP by Raman spectroscopy

  1. Artus, L.
  2. Cusco, R.
  3. Martin, J.M.
  4. Gonzalez-Diaz, G.
Actes:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Any de publicació: 1995

Volum: 354

Pàgines: 213-217

Tipus: Aportació congrés