Characterization of Si implantation and annealing of InP by Raman spectroscopy
- Artus, L.
- Cusco, R.
- Martin, J.M.
- Gonzalez-Diaz, G.
ISSN: 0272-9172
Datum der Publikation: 1995
Ausgabe: 354
Seiten: 213-217
Art: Konferenz-Beitrag
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings