Raman microprobe: a diagnostic tool for processed silicon. Analysis of microindented silicon

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Revista:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN: 0957-4522,  1573-482X

Año de publicación: 1993

Volumen: 4

Número: 4

Páginas: 271-277

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/BF00179223 GOOGLE SCHOLAR
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