Computer simulation of point-defect distributions generated by ion implantation

  1. Jaraíz, M.
  2. Arias, J.
  3. Rubio, J.E.
  4. Bailón, L.A.
  5. Barbolla, J.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1993

Volumen: 80-81

Número: PART 1

Páginas: 172-175

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(93)96100-Q GOOGLE SCHOLAR
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