Molecular dynamics simulation of amorphous silicon sputtering by Ar+ ions

  1. Rubio, J.E.
  2. Marqués, L.A.
  3. Jaraíz, M.
  4. Bailón, L.A.
  5. Barbolla, J.
Aldizkaria:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Argitalpen urtea: 1995

Alea: 102

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 301-304

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80157-H GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus