Molecular dynamics simulation of amorphous silicon sputtering by Ar+ ions

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Revue:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Année de publication: 1995

Volumen: 102

Número: 1-4

Pages: 301-304

Type: Article

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80157-H GOOGLE SCHOLAR

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