Molecular dynamics study of the fluence dependence of Si sputtering by 1 keV Ar+ ions
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 112
Nummer: 1-4
Seiten: 156-159
Art: Artikel
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 112
Nummer: 1-4
Seiten: 156-159
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