Electrical characteristics of anodic tantalum pentoxide thin films under thermal stress

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, H.
  3. Barbolla, J.
  4. Kola, R.R.
  5. Sullivan, P.A.
Revista:
Microelectronics Reliability

ISSN: 0026-2714

Año de publicación: 2000

Volumen: 40

Número: 4-5

Páginas: 659-662

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0026-2714(99)00310-8 GOOGLE SCHOLAR
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