Improved binary collision approximation ion implant simulators

  1. Hernández-Mangas, J.M.
  2. Arias, J.
  3. Bailón, L.
  4. Jaraíz, M.
  5. Barbolla, J.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Any de publicació: 2002

Volum: 91

Número: 2

Pàgines: 658-667

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.1424052 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus