Improved binary collision approximation ion implant simulators

  1. Hernández-Mangas, J.M.
  2. Arias, J.
  3. Bailón, L.
  4. Jaraíz, M.
  5. Barbolla, J.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 91

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 658-667

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.1424052 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus