Improved binary collision approximation ion implant simulators

  1. Hernández-Mangas, J.M.
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Revue:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Année de publication: 2002

Volumen: 91

Número: 2

Pages: 658-667

Type: Article

DOI: 10.1063/1.1424052 GOOGLE SCHOLAR

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