Ion-beam-induced amorphization and recrystallization in silicon

  1. Pelaz, L.
  2. Marqús, L.A.
  3. Barbolla, J.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 96

Nummer: 11

Seiten: 5947-5976

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1808484 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus