Ion-beam-induced amorphization and recrystallization in silicon

  1. Pelaz, L.
  2. Marqús, L.A.
  3. Barbolla, J.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 2004

Alea: 96

Zenbakia: 11

Orrialdeak: 5947-5976

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.1808484 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus