Ion-beam-induced amorphization and recrystallization in silicon

  1. Pelaz, L.
  2. Marqús, L.A.
  3. Barbolla, J.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Ano de publicación: 2004

Volume: 96

Número: 11

Páxinas: 5947-5976

Tipo: Artigo

DOI: 10.1063/1.1808484 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus