Boron diffusion in amorphous silicon and the role of fluorine
- Duffy, R.
- Venezia, V.C.
- Heringa, A.
- Pawlak, B.J.
- Hopstaken, M.J.P.
- Maas, G.C.J.
- Tamminga, Y.
- Dao, T.
- Roozeboom, F.
- Pelaz, L.
ISSN: 0003-6951
Any de publicació: 2004
Volum: 84
Número: 21
Pàgines: 4283-4285
Tipus: Article