Atomistic modeling of dopant implantation and annealing in Si: Damage evolution, dopant diffusion and activation
ISSN: 0927-0256
Argitalpen urtea: 2005
Alea: 33
Zenbakia: 1-3
Orrialdeak: 92-105
Mota: Biltzar ekarpena
ISSN: 0927-0256
Argitalpen urtea: 2005
Alea: 33
Zenbakia: 1-3
Orrialdeak: 92-105
Mota: Biltzar ekarpena