Physical insight into ultra-shallow junction formation through atomistic modeling
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 2006
Volum: 253
Número: 1-2
Pàgines: 41-45
Tipus: Article
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 2006
Volum: 253
Número: 1-2
Pàgines: 41-45
Tipus: Article