Physical insight into ultra-shallow junction formation through atomistic modeling

  1. Aboy, M.
  2. Lopez, P.
  3. Marques, L.A.
  4. Santos, I.
  5. L. Pelaz
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 253

Nummer: 1-2

Seiten: 41-45

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.10.036 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus