Predictive simulation of advanced nano-CMOS devices based on kMC process simulation

  1. Mok, K.R.C.
  2. Colombeau, B.
  3. Benistant, F.
  4. Teo, R.S.
  5. Yeong, S.H.
  6. Yang, B.
  7. Jaraiz, M.
  8. Chu, S.-F.S.
Revista:
IEEE Transactions on Electron Devices

ISSN: 0018-9383

Año de publicación: 2007

Volumen: 54

Número: 9

Páginas: 2155-2163

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/TED.2007.902698 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus