Electrical properties of atomic-layer-deposited thin gadolinium oxide high- k gate dielectrics

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, H.
  3. García, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Hatanpää, T.
  8. Lu, J.
  9. Ritala, M.
  10. Leskelä, M.
Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Any de publicació: 2007

Volum: 154

Número: 10

Tipus: Article

DOI: 10.1149/1.2761845 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus