Electrical properties of atomic-layer-deposited thin gadolinium oxide high- k gate dielectrics
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- García, H.
- Gómez, A.
- Bailón, L.
- Kukli, K.
- Hatanpää, T.
- Lu, J.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
Zeitschrift:
Journal of the Electrochemical Society
ISSN: 0013-4651
Datum der Publikation: 2007
Ausgabe: 154
Nummer: 10
Art: Artikel