Electrical properties of atomic-layer-deposited thin gadolinium oxide high- k gate dielectrics

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Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Año de publicación: 2007

Volumen: 154

Número: 10

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/1.2761845 GOOGLE SCHOLAR

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