Hydrogen-free SiCN films obtained by electron cyclotron resonance plasma

  1. Hernández, M.J.
  2. Cervera, M.
  3. Piqueras, J.
  4. González, M.A.
  5. Avella, M.
  6. Del Caño, T.
  7. Jiḿnez, J.
Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Año de publicación: 2007

Volumen: 154

Número: 4

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/1.2472559 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus