Comprehensive model of damage accumulation in silicon
- Mok, K.R.C.
- Benistant, F.
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- Castrillo, P.
- Pinacho, R.
- Srinivasan, M.P.
Revista:
Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 2008
Volumen: 103
Número: 1
Tipo: Artículo