Characterization of SrTiO3-based MIM capacitors grown by using different precursors and growth temperatures

  1. Garcia, H.
  2. Castán, H.
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  6. Kukli, K.
  7. Kariniemi, M.
  8. Kemell, M.
  9. Niinistö, J.
  10. Ritala, M.
  11. Leskelä, M.
Konferenzberichte:
Proceedings of the 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011

ISBN: 9781424478637

Datum der Publikation: 2011

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/SCED.2011.5744209 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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