Characterization of SrTiO3-based MIM capacitors grown by using different precursors and growth temperatures

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Actas:
Proceedings of the 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011

ISBN: 9781424478637

Año de publicación: 2011

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2011.5744209 GOOGLE SCHOLAR

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