Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetraiodide and ozone

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Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Año de publicación: 2018

Volumen: 7

Número: 2

Páginas: P1-P8

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/2.0041802JSS GOOGLE SCHOLAR
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