Atomic layer deposition and properties of HFO 2 -Al 2 O 3 nanolaminates

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Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Año de publicación: 2018

Volumen: 7

Número: 9

Páginas: P501-P508

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/2.0261809JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor

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