Defects from implantation in silicon by linked Marlow-molecular dynamics calculations

  1. Jaraiz, M.
  2. Gilmer, G.H.
  3. Stock, D.M.
  4. Diaz de la Rubia, T.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1995

Volumen: 102

Número: 1-4

Páginas: 180-182

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80138-C GOOGLE SCHOLAR
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