Symposium I: Silicon and germanium issues for future CMOS devices

  1. Pelaz, L.
  2. Mirabella, S.
  3. Larsen, A.N.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 2010

Volum: 518

Número: 9

Pàgines: 2299-2300

Tipus: Editorial

DOI: 10.1016/J.TSF.2009.12.103 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus