Symposium I: Silicon and germanium issues for future CMOS devices

  1. Pelaz, L.
  2. Mirabella, S.
  3. Larsen, A.N.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 2010

Alea: 518

Zenbakia: 9

Orrialdeak: 2299-2300

Mota: Editoriala

DOI: 10.1016/J.TSF.2009.12.103 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus