Symposium I: Silicon and germanium issues for future CMOS devices

  1. Pelaz, L.
  2. Mirabella, S.
  3. Larsen, A.N.
Revue:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Année de publication: 2010

Volumen: 518

Número: 9

Pages: 2299-2300

Type: Éditorial

DOI: 10.1016/J.TSF.2009.12.103 GOOGLE SCHOLAR
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