Raman-scattering assessment of Si+-implantation damage in InP
- Cuscó, R.
- Talamàs, G.
- Artús, L.
- Martin, J.M.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 1996
Volumen: 79
Número: 8
Páginas: 3927-3929
Tipo: Artículo
Revista:
Journal of Applied Physics