Atomic scale simulations of arsenic ion implantation and annealing in silicon
- Caturla, M.-J.
- Diaz de la Rubia, T.
- Jaraiz, M.
- Gilmer, G.H.
Aktak:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Argitalpen urtea: 1996
Alea: 396
Orrialdeak: 45-50
Mota: Biltzar ekarpena