Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 1995
Volum: 102
Número: 1-4
Pàgines: 228-231
Tipus: Article
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 1995
Volum: 102
Número: 1-4
Pàgines: 228-231
Tipus: Article