Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code
ISSN: 0168-583X
Argitalpen urtea: 1995
Alea: 102
Zenbakia: 1-4
Orrialdeak: 228-231
Mota: Artikulua
ISSN: 0168-583X
Argitalpen urtea: 1995
Alea: 102
Zenbakia: 1-4
Orrialdeak: 228-231
Mota: Artikulua